1
ستاد ویژه توسعه فناوری نانو Iran Nanotechnology Innovation Council بستن
  • ستاد ویژه توسعه فناوری نانو

  • بانک اطلاعات شاخص های فناوری نانو

  • سایت جشنواره فناوری نانو

  • سیستم جامع آموزش فناوری نانو

  • شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو

  • موسسه خدمات فناوری تا بازار

  • کمیته استانداردسازی فناوری نانو

  • پایگاه اشتغال فناوری نانو

  • کمیته نانو فناوری وزارت بهداشت

  • جشنواره برترین ها

  • مجمع بین المللی اقتصاد نانو

  • اکو نانو

  • پایگاه اطلاع رسانی محصولات فناوری نانو ایران

  • شبکه ایمنی نانو

  • همایش ایمنی در نانو

  • گالری چند رسانه ای نانو

  • تجهیزات فناوری نانو

  • صنعت و بازار

  • باشگاه نانو

عرضه‌ی دستگاه لایه‌نشانی‌ اتمی برای تولید حافظه و مدار

موضوع : صنعت و بازار کلمات کلیدی : لایه نشانی اتمی تاریخ خبر : 1397/04/30 تعداد بازدید : 614

شرکت هلندی ای‌اس‌ام اینترنشنال دستگاه لایه‌نشانی اتمی جدیدی به بازار عرضه کرده که می‌توان از آن برای ساخت حافظه و مدارهای الکترونیکی استفاده کرد. این دستگاه می‌تواند برای تولید لایه‌های بسیار نازک و نسبتاً ضخیم استفاده شود.

ای‌اس‌ام اینترنشنال (ASM International) اعلام کرد که دستگاه لایه‌نشانی اتمی (ALD) این شرکت موسوم به Synergis® برای تولید حافظه و مدار مورد استفاده قرار گرفته است. در طول یک دهه‌ی گذشته ای‌اس‌ام اینترنشنال به‌دنبال بهینه‌سازی این فناوری بوده تا بتواند از آن برای تولید انبوه محصولات استفاده کند.

تقاضا  برای دستگاه‌های لایه نشانی اتمی رو به افزایش است و این فناوری موجب شده تا بتوان از مواد و طراحی‌های جدید برای تولید تراشه استفاده کرد. یکی از دلایل این افزایش، امکان کنترل دقیق محیط راکتور است که اجازه می‌دهد تا مواد اولیه با فشار بخار پایین و کارایی بالا وارد محیط شوند. در نتیجه دستگاه لایه‌نشانی ای‌اس‌ام اینترنشنال ابزاری مناسب برای تولید ساختار‌های یکنواخت روی ویفر است.

هیچم مسعد از مدیران ای‌اس‌ام اینترنشنال می‌گوید: «برخی از مشتریان ما می‌خواهند در تولید فیلم‌ها از شرایط موجود جلوتر رفته و برای این کار از سامانه‌ی لایه‌نشانی اتمی ما استفاده می کنند که با قیمت کم نیاز آنها را برآورده می‌سازد. Synergis®  به کاربر اجازه می‌دهد تا فیلم‌های جدیدی برای تولید حافظه و مدار داشته باشند. همچنین این فناوری امکان ایجاد چند لایه روی هم را فراهم کرده و می توان با کمک آن خواص فیلم‌ها را نیز تنظیم کرد. ما از وجود این فرصت‌ها و راهکارها برای تقویت رابطه با مشتریان خود استفاده می‌کنیم.»

در این دستگاه لایه‌نشانی شرکت ای‌اس‌ام اینترنشنال از سامانه‌های EmerALD® XP  و Pulsar® XP systems استفاده می‌شود. Pulsar ابزاری برای ایجاد مواد با ثابت دی‌الکتریک بالا است، در حالی که EmerALD به کاربر اجازه می‌دهد تا لایه‌های نازک از جنس کاربید/نیترید فلزی و ترکیبات فلزی مختلف روی سطح ایجاد نمود.  در واقع با این فناوری می‌توان هم لایه‌های بسیار نازک و هم لایه‌های نسبتاً ضخیم ایجاد کرد. از Synergis® می‌توان برای تولید چهار دسته فیلم مختلف استفاده کرد: اکسیدهای فلزی، نیتریدهای فلزی، فلزات خالص و ترکیبات دی‌الکتریک.

ای‌اس‌ام اینترنشنال یک شرکت هلندی است که دفتر مرکزی آن در آلمره واقع شده‌است.